구마모토 지진 반도체 — 삼성·SK하이닉스에 코터를 대는 도쿄일렉트론 두 사업소가 8월 3일 다시 돌았다

• 일본 도쿄일렉트론(TEL)이 구마모토현에서 굴리는 사업소 두 곳이 3일 다시 돌기 시작했다고 한국경제와 서울신문이 전했다. 7월 28일 규모 7.1 지진에 멈춰 있던 곳이다.
• 두 곳에서 나오는 것은 코터·디벨로퍼다. 웨이퍼 위로 감광액 막을 입히고 노광이 끝나면 그 막을 씻어내 무늬를 드러내는 기계인데, TEL이 스스로 잡은 이 품목의 세계 점유율이 약 90%라고 더뷰어스가 적었다.
• TEL은 삼성전자와 SK하이닉스에 장비를 넣는 회사다. 국내 업계 관계자는 더뷰어스에 지금까지 공급 쪽 탈은 없다고 말했다. 다만 어느 라인에 무엇이 얼마나 걸렸는지를 숫자로 밝힌 매체는 네 곳 가운데 없었다.

일본 도쿄일렉트론(TEL)이 구마모토현에 둔 사업소 두 곳을 다시 돌리기 시작했다. 한국경제는 4일 기사에서 이 회사가 현지 공장 두 곳을 3일부터 본격 가동에 넣었다고 적었고, 서울신문도 날짜와 공장 수를 같게 전했다. 멈춰 있던 이유는 지난달 말의 지진이다. 더뷰어스가 정리한 발생 정보를 보면 땅이 흔들리기 시작한 시각은 7월 28일 오후 4시27분, 진앙은 구마모토현 구마모토 지방이었다. 규모는 7.1로 기록됐고 진원은 16㎞ 깊이에 있었다. 가장 세게 흔들린 곳은 우키시와 히카와초로, 여기서 진도 7이 찍혔다. 같은 매체는 이 지역에서 관측된 지진 가운데 2016년 뒤로 10년 사이 가장 컸다고 적었다.

TEL의 구마모토 거점은 자회사 TEL규슈가 맡는다. 고시시 사업소와 오즈마치 사업소, 두 곳이다. 더뷰어스에 따르면 여기서 나오는 물건은 셋이다. 코터·디벨로퍼, 웨이퍼를 씻는 세정장치, 그리고 3차원 실장장치. 이 가운데 코터·디벨로퍼가 맡는 일은 노광 앞뒤에 걸쳐 있다. 빛으로 회로를 찍기 전에 웨이퍼 위로 감광액 막을 입혀 주고, 노광이 끝나면 그 막을 씻어내 무늬를 드러낸다. 회사가 스스로 잡은 이 품목의 세계 점유율은 약 90%다. 그 값을 떠받치는 개발과 제조가 구마모토 두 사업소에서 이뤄진다고 같은 기사는 밝혔다.

흔들림의 세기는 사업장마다 달랐다. 일본 내각부가 잰 값을 더뷰어스가 옮겨 적었는데, 고시시와 오즈마치는 진도 6약이었다. TSMC의 일본 자회사 JASM이 선 기쿠요마치는 진도 5강이다. 한국경제는 진도 5강을 두고 가구가 넘어지고 사람이 무언가를 붙들어야 서 있을 수 있는 정도라고 풀었다. 건물도 설비도 크게 상하지 않았다는 것이 TEL 설명이다. 회사는 안전을 확인한 뒤 라인을 되살렸고, 홈페이지에는 지진이 실적에 남길 자국이 경미하다는 문장을 올려 뒀다.

같은 지역의 다른 반도체 공장도 차례로 돌아왔다. 한국경제는 교도통신 등을 인용해 TSMC 기쿠요마치 1공장이 전날 정상 가동 상태를 되찾았다고 전했다. 이 회사는 지진이 나자 장비를 살피고 맞추려고 공정을 세워 뒀다. 건물이 안전한지는 그날 바로 확인됐지만, 센 흔들림이 생산 장비에 남긴 것을 가려내는 데는 며칠이 더 필요했다는 설명이다. 서울신문은 대만 본사가 엔지니어를 현지로 보내 장비를 살피고 미세하게 맞춘 뒤 라인을 하나씩 올렸다고 적었다. TSMC는 "구마모토는 글로벌 생산망에서 중요한 거점"이라며 "종업원과 협력업체들의 노력 덕분에 예상보다 빠르게 복구할 수 있었다"고 이 매체에 밝혔다. 한국경제에 따르면 TSMC가 내놓겠다고 한 성금은 2억5000만엔이다. 우리 돈으로 약 22억7000만원이며, 회사 엑스 계정에 그렇게 적혔다.

소니와 르네사스도 움직였다. 이미지 센서를 찍어내는 소니 세미컨덕터 매뉴팩처링은 구마모토 테크놀로지 센터를 4일부터 단계적으로 올렸다. 이달 중순까지 지진 전 수준으로 돌려놓겠다는 방침이라는 아사히신문 보도를 한국경제가 전했다. 서울신문은 르네사스 일렉트로닉스가 구마모토시 가와시리 공장을 5일부터 다시 돌릴 예정이라고 적었다. 다만 같은 기사는 완전한 정상화까지는 더 걸린다고 봤다. 부품이 제때 들어오지 않고 물류도 아직 더뎌 생산량은 조금씩만 올라오고 있다는 것이다.

복구가 빨랐던 배경으로는 두 가지가 꼽혔다. 하나는 지진 자체의 모양이다. 한국경제가 옮긴 아사히신문 분석을 보면 2016년에는 진앙이 공장 코앞이었고 진도 7이 이틀 새 두 번 덮쳤다. 이번에는 그 거리가 멀었고 진도 7은 한 번으로 끝났다. 서울신문도 큰 여진이 없었다는 점을 회복 속도의 이유로 들었다. 다른 하나는 준비다. 2016년에 생산을 되살리는 데 수개월이 걸려 큰 손실을 본 기억이 남아, 이 지역 반도체 업계가 그동안 내진 설계를 강화하고 사업 계속 계획(BCP)을 짜 뒀다는 분석이 나왔다고 한국경제는 적었다.

국내 공급망 쪽은 아직 조용하다. TEL에서 장비를 받는 국내 반도체 업계 한 관계자는 더뷰어스에 "현재까지는 반도체 장비 공급과 관련해 큰 영향은 없는 것으로 안다"고 말했다. 다만 같은 기사는 시간이 왜 더 필요한지도 함께 적었다. 웨이퍼를 넣고 물건이 나오기까지 통상 3개월이 걸리고, 만들던 제품에 미세한 흠집이 나면 그대로 버린다. 건물이 성해도 곧바로 예전처럼 돌지는 않는다. 장비 정밀도를 다시 잡고 나온 물건의 품질까지 봐야 하기 때문이다. 아이뉴스24는 7월 30일 기사에서 웨이퍼 한 장이 완제품까지 가는 데 통상 4~5개월이 든다고 봤다. 수율을 확인하는 절차에도 그만큼 시간이 든다는 설명이다.

아이뉴스24가 이번 지진을 크게 본 이유는 따로 있다. 구마모토가 TSMC의 첨단공정 거점으로 키워지고 있어서다. 제1공장은 2024년부터 돌아가고 있고, 제2공장에서는 2028년부터 3나노 공정을 양산할 계획이다. 1나노는 10억분의 1m다. 요즘 짓는 첨단 팹은 내진 설계가 세고 무정전전원장치도 달려 있다고 같은 기사는 적었다. 그러면서도 공정 자체가 작은 떨림에 예민하다는 점을 짚었다. 지진이 나던 순간 라인에 올라가 있던 웨이퍼나 빛을 쬐는 장비가 흔들렸다면 정상품 비율이 흔들릴 수 있다는 익명 교수의 설명이 함께 실렸다. SK하이닉스에 대해서는 파운드리를 하지 않지만 TSMC와 인공지능 반도체 공급망에서 손을 잡아 왔다고 적었다. 2024년 대만에서 강진이 났을 때 SK하이닉스 곽노정 대표이사 사장이 TSMC를 방문해 복구를 돕겠다는 뜻을 전한 일도 예로 들었다.

2016년 — 구마모토 강진. 진앙이 공장 코앞이었고 진도 7이 이틀 새 두 번 왔다. TSMC는 이 지역 생산 시설을 되살리는 데 수개월을 썼다(한국경제·아사히신문 인용). 소니는 전면 재개까지 3개월이 걸렸다고 더뷰어스가 적었다.

2024년 — TSMC 구마모토 제1공장 가동 시작(아이뉴스24). 같은 해 대만에서 강진이 났을 때 SK하이닉스 곽노정 대표이사 사장이 TSMC를 방문해 복구를 돕겠다는 뜻을 전했다.

7월 28일 오후 4시27분 — 구마모토현 구마모토 지방에서 규모 7.1 지진. 진원은 16㎞ 깊이, 우키시·히카와초에서 진도 7. TEL 두 사업소가 선 고시시·오즈마치는 진도 6약, JASM이 있는 기쿠요마치는 진도 5강(더뷰어스).

7월 28일 — TSMC가 장비를 살피려 공정을 세웠고 건물 안전은 그날 확인됐다(한국경제). 일본 총리실이 비상재해대책본부를 꾸렸고, 재해구조법 적용은 구마모토현 21개 시정촌에 걸렸다(더뷰어스).

7월 29일 — TSMC가 안전 확인 뒤 생산을 하나씩 되살리며 장비와 라인을 점검 중이라고 아이뉴스24가 업계를 인용해 전했다. 짓고 있던 제2공장은 여진에 대비해 공사 일부를 세웠다.

7월 30일 — TEL이 4~6월 실적을 내놨다(더뷰어스). 아이뉴스24 기사도 이날 나왔다.

8월 2일 — 구마모토현 집계로 인명 피해 152명, 주택 4042동, 피난소 인원 9158명. 이날 오전까지 세어 본 진도 3 이상 여진은 65회(더뷰어스).

8월 3일 — TEL 고시시·오즈마치 두 사업소가 본격 가동에 들어갔다(한국경제·서울신문). TSMC 기쿠요마치 1공장이 정상 가동 상태를 되찾았다(한국경제). 이날까지 숨진 사람은 38명(더뷰어스).

8월 4일 — 소니 세미컨덕터 매뉴팩처링이 구마모토 테크놀로지 센터를 단계적으로 올렸다(한국경제·서울신문). 한국경제·더뷰어스·서울신문 기사가 모두 이날 나왔다.

8월 5일 — 르네사스 일렉트로닉스 구마모토시 가와시리 공장 재가동 예정(서울신문).

8월 7일께 — 태풍 13호 돌핀이 난세이제도에 다가올 가능성이 있다고 더뷰어스가 전했다.

2028년 — TSMC 제2공장에서 3나노 공정 양산 계획(아이뉴스24).

표에 실린 실적 값은 TEL이 지난달 30일 내놓은 4~6월 자료를 더뷰어스가 정리한 것이다. 회사 기준으로 분기 사상 최고였다. 이 분기 영업이익은 2114억엔, 우리 돈으로 약 1조8700억원이다. 1년 전 같은 분기와 견주면 46.1% 늘어난 값이고, 매출 쪽 증가율은 33.3%였다. 인공지능 데이터센터에 들어가는 반도체를 만드는 장비에 돈이 몰린 것이 실적을 밀어 올렸다는 게 회사 설명이다. 상반기 매출 전망치는 1조6200억엔, 약 14조4000억원으로 올라갔다. 4월에 잡아 뒀던 숫자보다 500억엔, 약 4400억원 높다. 회사는 도포·현상 쪽 올해 매출이 지난해보다 50% 이상 늘어난다고 봤다.

한국이 이 회사 매출에서 차지하는 자리도 같은 자료에 나온다. 4~6월 전체 매출은 7323억엔, 약 6조5000억원이다. 그 가운데 한국에서 나온 몫이 1524억엔, 약 1조3500억원으로 20.8%다. 앞에는 중국 30.4%와 대만 25.4%가 있다. 다만 이 한국 몫이 삼성전자와 SK하이닉스에 각각 얼마씩 나뉘는지는 기사에 쪼개져 있지 않다.

지진 피해 규모는 구마모토현과 일본 내각부 집계로 더뷰어스에 실렸다. 2일을 기준으로 인명 피해는 152명이고, 주택은 4042동이 상했다. 피난소에 든 사람은 9158명이다. 3일까지 숨진 사람은 38명으로 집계됐다. 기상청은 앞으로도 이 정도 흔들림이 더 올 수 있다고 안내했다. 2일 오전까지 세어 본 진도 3 이상 여진은 65회다.

정부 대응도 같은 기사에 정리돼 있다. 지진이 난 날 일본 총리실은 비상재해대책본부를 꾸렸고, 재해구조법 적용은 구마모토현 21개 시정촌에 걸렸다. 구마모토현 지사가 재해파견을 요청하자 자위대 약 5100명이 들어갔다. 물을 댄 것은 야쓰시로 앞바다에 나간 함정 5척이다. 더위 탓에 쿨러 약 300대를 C-2 수송기에 실어 이루마기지에서 구마모토공항으로 옮기기도 했다.

표 맨 아래 줄은 두 매체의 값이 갈리는 자리다. 더뷰어스는 웨이퍼를 넣고 물건이 나오기까지 통상 3개월로 잡았고, 아이뉴스24는 웨이퍼 한 장이 완제품까지 가는 데 통상 4~5개월로 잡았다. 두 기사가 재는 구간이 같은지 다른지는 본문만으로 가려지지 않는다.

이 소식이 국내에 닿는 자리는 장비 쪽이다. 더뷰어스는 TEL을 삼성전자와 SK하이닉스에 반도체 장비를 넣는 회사로 소개했고, 구마모토 두 사업소를 코터·디벨로퍼가 만들어지는 자리로 적었다. 회사가 스스로 잡은 이 품목의 세계 점유율은 약 90%다. 두 사업소가 선 고시시와 오즈마치는 진도 6약이었지만 건물도 설비도 크게 상하지 않았고, 안전을 확인한 뒤 라인이 다시 돌기 시작했다.

국내 반응은 한 줄이다. TEL에서 장비를 받는 국내 반도체 업계 관계자가 더뷰어스에 지금까지는 장비 공급 쪽에 큰 탈이 없는 것으로 안다고 말한 대목이다. 발언한 사람의 이름과 소속 회사는 기사에 없다.

여기까지가 네 기사가 알려 주는 전부다. 삼성전자나 SK하이닉스가 이 두 사업소에서 장비를 언제 몇 대 받기로 돼 있었는지, 그 일정이 며칠 밀렸는지, 국내 어느 라인이 그 장비를 기다리고 있었는지는 네 기사 어디에도 없다. 두 회사가 이번 지진을 두고 공식 입장을 냈는지도 나오지 않았다.

그래서 이 사안을 따라가려는 사람이 지금 손에 쥘 수 있는 것은 사실관계까지다. 재개 날짜, 흔들림 세기, 피해 확인 여부는 보도된 값이지만, 그 값이 국내 생산이나 실적에서 어떤 결과로 이어질지를 말한 문장은 네 기사 어디에도 없다. 그 부분을 알려면 두 회사와 TEL의 다음 발표를 기다려야 한다.

확인된 것부터 적는다. 지진의 날짜·시각·규모·깊이와 가장 센 흔들림이 난 곳, TEL 두 사업소의 이름과 위치와 흔들림 세기, 그 사업소가 만드는 품목과 세계 점유율, 3일 본격 가동, TSMC 1공장의 복귀와 2공장 공사, 소니와 르네사스의 일정, TEL의 4~6월 실적과 상반기 전망치, 구마모토현·내각부 집계의 피해 수치, 자위대 지원 규모는 모두 네 기사 본문에 있다.

엇갈리는 대목도 있다. 한국경제와 서울신문은 TEL 두 공장이 3일부터 본격적으로 돌았다고 적었지만, 더뷰어스는 4일자 기사에서 이 회사가 '이날' 두 사업소 조업을 재개했다고 밝혔다고 썼다. 발표한 날과 라인이 실제로 돈 날을 그 문장만으로 갈라내기는 어렵다.

소니 쪽도 갈린다. 더뷰어스는 소니 세미컨덕터솔루션즈의 기쿠요마치 이미지센서 공장이 멈춘 뒤 재개 시점을 못 정했다고 적었고, 한국경제와 서울신문은 소니 세미컨덕터 매뉴팩처링의 구마모토 테크놀로지 센터가 4일 단계적으로 돌아왔다고 전했다. 두 문장이 가리키는 법인 이름과 사업장이 서로 다르다. TSMC 제2공장 공사도 마찬가지다. 아이뉴스24와 더뷰어스는 여진에 대비해 공사 일부를 세웠다고 했고, 한국경제는 공사가 다시 시작됐다고 적었다. 앞의 둘과 뒤의 하나는 취재 시점이 다르다.

확인되지 않은 것도 분명하다. 삼성전자나 SK하이닉스가 TEL 구마모토 사업소에서 받기로 한 장비의 수량과 납기, 지연 일수는 네 기사 어디에도 없다. 두 회사 명의의 코멘트도 실려 있지 않다. 코터·디벨로퍼 세계 점유율 약 90%는 TEL이 스스로 산출한 값이라고 기사에 적혀 있고, 다른 조사기관 수치로 대조된 상태는 아니다. 두 사업소가 지진 전 생산 수준으로 언제 돌아오는지, 이번 재개가 전 라인인지 일부인지도 나오지 않았다. 멈춰 있던 동안 만들던 물건을 버렸는지, 그 규모가 얼마인지도 없다. 이번 지진이 국내 반도체 생산량이나 출하량에 미친 영향을 숫자로 제시한 문장 역시 없다.

여기 실린 값은 모두 네 매체가 보도한 것이다. TEL·TSMC·소니·르네사스의 공시나 일본 관계기관 원자료를 직접 확인한 것이 아니다. 지진과 국내 기업 실적을 인과로 묶은 문장도 네 기사에는 없다. 같은 시기에 함께 일어난 일까지가 지금 확인 가능한 범위다.

TEL 두 사업소가 지진 전 생산 수준으로 언제 돌아오는지. 네 기사는 본격 가동까지만 담았고, 전 라인인지 일부인지도 밝히지 않았다.

삼성전자·SK하이닉스가 장비 납기를 두고 공식 입장을 내는지. 지금 있는 것은 이름 없는 업계 관계자 발언 한 줄뿐이다.

TEL이 다음 실적 발표에서 지진 영향을 어떻게 적는지. 지금은 홈페이지에 경미하다는 문장이 올라 있는 상태다.

소니 쪽 사업장별 상황. 매체마다 법인 이름과 사업장이 갈려 있어 같은 곳을 말하는지부터 확인해야 한다.

르네사스 가와시리 공장이 예정대로 5일에 돌았는지, 천장 패널이 떨어진 니시키 공장은 어떻게 됐는지.

태풍 13호 돌핀의 진로. 7일께 난세이제도에 다가올 가능성이 있다는 언급까지만 나와 있다.

여진이 어떻게 잦아드는지. 2일 오전까지 진도 3 이상이 65회였고, 기상청은 주의를 당부한 상태다.

이 기사는 네 건의 보도를 근거로 삼았다. 한국경제(박수빈 기자, 8월 4일 입력 8시 53분), 더뷰어스(손기호 기자, 8월 4일 입력 10시 51분), 서울신문(도쿄 명희진 기자, 8월 4일 입력 12시 11분·수정 16시 37분), 아이뉴스24(권서아·황세웅 기자, 7월 30일 입력 오전 6시)다.

아이뉴스24 기사는 TEL 사업소 재개 소식이 나오기 전 시점의 취재다. 그래서 이 기사에서 아이뉴스24가 맡은 자리는 재개 날짜가 아니라 지진 직후 상황과 수율 검증에 걸리는 시간이다.